Министерство промышленности и торговли России сообщило о завершении разработки первого отечественного оборудования, предназначенного для производства микрочипов. Это оборудование, в частности, включает вакуумные установки, способные обрабатывать кремниевые пластины диаметром до 300 миллиметров и производить электронные компоненты с проектными нормами до 65 нанометров. Данная инициатива является важным шагом к созданию полного цикла микроэлектроники в стране, отмечают в Минпромторге. Технология была разработана совместно АО «НИИМЭ» и АО «НИИТМ», что подчеркивает значимость совместной работы в данной сфере. Обработка заготовок в вакууме является ключевой особенностью нового оборудования, что позволяет выполнять высокоточные операции, необходимые для современных электронных компонентов.