Зеленоградский завод «Микрон», входящий в группу «Элемент», стал победителем тендера Минпромторга на разработку автоматизированной установки «Лучник». Стоимость контракта составляет 1,56 миллиарда рублей. Это оборудование критически важно для производства микросхем, поскольку оно обеспечивает точность наложения слоев при печати чипов на кремниевых пластинах. Основная цель проекта — создать российский аналог установки ARCHER 10 XT от KLA Tencor. Установка будет работать с пластинами диаметром 150 и 200 мм, контролируя точность наложения слоев с проектными нормами до 130 нм и обеспечивая производительность от 75 пластин в час. В разработке «Лучника» сочетаются прецизионная механика, оптика и сложное ПО, что требует нанометровой точности в движении предметного столика и создания высококачественных линз. Работы должны быть завершены до июля 2029 года, и наличие действующей производственной линии 200-миллиметровых пластин даст возможность оперативно тестировать прототипы.