Российские специалисты из Центра испытаний функциональных материалов МФТИ представили инновационный принтер для изготовления микроэлектронных компонентов методом сухой аэрозольной печати. В отличие от традиционных технологий, устройство не применяет жидкие чернила, растворители или связующие вещества. Вместо этого наночастицы синтезируются в процессе печати с помощью импульсного электрического газового разряда и сразу осаждаются на подложку фокусированным аэрозольным пучком.
Этот метод позволяет снизить стоимость производства и устранить сложные этапы фотолитографии, требующей чистых помещений и агрессивных химикатов. Традиционные аддитивные технологии используют жидкие наночастицы, что требует длительной сушки и высокотемпературного обжига, нередко вызывающего загрязнения и ухудшение свойств микросхем.
Принтер МФТИ объединяет четыре технологических процесса: генерацию наночастиц в газовом разряде, лазерную модификацию их формы, фокусирование аэрозоля и лазерное спекание прямо во время осаждения. Это обеспечивает формирование плотных и высокопроводящих структур без постобработки. Уникальная лазерная технология позволяет работать даже с чувствительными полимерными подложками.
Кроме печати проводящих дорожек, устройство может создавать плазмонные наноструктуры для спектроскопии и пористые структуры для газовых сенсоров, расширяя сферы применения. Новый принтер уже прошёл государственные испытания и готов к серийному производству, что обещает ускорить создание микроэлектронных устройств и снизить их себестоимость.