Российская академия наук разрабатывает литографы нового поколения
Институт физики микроструктур Российской академии наук разработал дорожную карту, направленную на создание отечественных установок экстремальной ультрафиолетовой литографии. Ожидается, что самые современные системы, способные производить процессоры и однокристальные системы с техпроцессом
